南大光电(300346)接纳机构调研时表明，企业ArF光刻胶产品研发和产业化新项目，现阶段已完成25吨光刻胶生产流水线基本建设，关键优秀光刻机器设备，如ASML浸入式光刻机等早已进行安裝并交付使用。2020年底，企业自主研发的ArF光刻胶商品取得成功根据中下游顾客的应用验证，变成根据商品认证的第一只国内ArF光刻胶，产业化获得重要提升，取得国内光刻胶的第一个订单信息，完成小批量生产市场销售。
（文章内容来源于：e公司）
南大光电(300346)接纳机构调研时表明，企业ArF光刻胶产品研发和产业化新项目，现阶段已完成25吨光刻胶生产流水线基本建设，关键优秀光刻机器设备，如ASML浸入式光刻机等早已进行安裝并交付使用。2020年底，企业自主研发的ArF光刻胶商品取得成功根据中下游顾客的应用验证，变成根据商品认证的第一只国内ArF光刻胶，产业化获得重要提升，取得国内光刻胶的第一个订单信息，完成小批量生产市场销售。
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